在污水处理中用到的磷系缓蚀除垢剂有两大类：有机磷酸及其盐类、多元醇磷酸酯类，如ATMP 、HEDP等均属于该类缓蚀除垢剂。两种缓蚀除垢剂的分子中由于含有磷酞基，对金属离子如铁、镁等都具有鳌合能力，可生成难溶性螯合物沉积于金属表面，形成保护膜而具有缓蚀作用。

多元醇磷酸酯一般为含有二元醇至六元醇的磷酸酯，随着醇分子中羟基数目的增多，其磷酸酯的缓蚀效果增强。电化学研究表明，有机磷酸及其盐类与金属离子的螯合物沉积覆盖阴极区，因此，是一种沉淀膜型的阴极型缓蚀除垢剂；而多元醇磷酸酯与聚磷酸盐复配后的缓蚀除垢剂能在金属表面形成氧化物膜和沉淀膜组成的复合缓蚀膜，是一种既能抑制电化学阳极过程又能抑制阴极过程的混合型缓蚀除垢剂。

另外，有机磷酸的化学稳定性高，不易水解，能耐较髙的温度，是一种应用比较广泛的缓蚀除垢剂；而有机磷酸醋在较高的温度（>90 ℃)和碱性较强的条件下，易发生水解，因此使用有机磷酸酯类缓蚀除垢剂时，不易温度过高， pH值在6 ~ 9之间为宜，但其合成工艺简单，缓蚀效果好，无毒性。